【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面，使其濺射出進入氣相，可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數稱為濺射產額(Yield)產額越高濺射速度越快，以Cu,Au,Ag等*高，Ti,Mo,Ta,W等*低。一般在0.1-10原子/離子。 離子可以直流輝光放電(glow discharge)產生，在10-1—10 Pa真空度，在兩極間加高壓產生放電，正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材，而鍍至被鍍物上。 正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質與形狀、氣體種類壓力等有關。濺鍍時應盡可能維持其穩(wěn)定。 任何材料皆可濺射鍍膜，即使高熔點材料也容易濺鍍，但對非導體靶材須以射頻（RF）或脈沖（pulse）濺射；且因導電性較差，濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬＜5W/cm2。 真空鍍膜機機組是怎樣的？寧夏二手卷繞式真空鍍膜機

【真空鍍膜機之卷繞機構設計中應考慮的問題】 ①提高卷繞速度的問題。卷繞速度即是帶狀基材運動的線速度，它是卷繞機構的一個主要技術指櫟。國內早期鍍膜機卷繞速度只有10m/min，現在也只有80m/min～120m/min，在國外日本的EW系列產品中，其卷繞速度已達到300m/min，德國L．H公司生產的鍍膜機已達到600m/min，可見隨著鍍膜技術的發(fā)展，卷繞速度有待提高。 ②帶狀基材的線速恒定問題。這一問題也很重要，因為只有卷繞機構保證帶狀基材的線速恒定，才能使基材上鍍層厚度均勻。這一點對制備帶狀基材的功能性膜（如電容器膜）尤為重要。 ③帶狀基材的跑偏和起褶問題。隨著卷繞速度的提高，帶狀基材在卷繞鍍膜過程中，起褶和發(fā)生偏斜，嚴重時會造成基材的斷裂，使生產中斷，既影響生產效率，又浪費材料。因此，在卷繞機構的設計中應充分考慮這一問題。 江蘇真空鍍膜機擴散泵保養(yǎng)流程真空鍍膜機公司的排名。

【真空鍍膜機清洗工藝要求】真空工藝進行前應清洗真空材料，從工件或系統(tǒng)材料表面qing除污染物；真空零部件的表面清洗處理也是非常有必要的，因為由污染物所造成的氣體、蒸氣源不僅會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在，同時也會影響真空部件連接處的強度和密封性能。 污染物可以定義為“任何一種無用的物質或能量”，根據污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體，它們以膜或散粒形式存在。就其化學特征來看，它可以處于離子態(tài)或共價態(tài)，可以是無機物或有機物。 暴露在空氣中的表面*易受到污染，污染的來源有很多種，*初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現象、化學反應、浸析和干燥過程、機械處理以及擴散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。

【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】 磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進,從而xianzhu地延長了電子的運動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經過一次碰撞損失一部分動能,經過多次碰撞后,喪失了能量成為“*終電子”進入離陰極靶面較遠的弱電場區(qū),*后到達陽極時已經是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。 真空鍍膜機真空度多少？

【真空鍍膜設備的維修及保養(yǎng)方法】 1.真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。 方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復擦洗真空室內壁，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。 2.當粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油。 方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦干凈箱內污垢。 3.在重新開機前，要注意檢漏。 方法：啟動維持泵，關好da門，數分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設備無法進入工作狀態(tài)。 真空鍍膜機的工作原理。江蘇真空鍍膜機擴散泵保養(yǎng)流程

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【真空鍍膜設備撿漏需注意】真空鍍膜設備檢漏是保證真空鍍膜設備真空度的一項檢查措施，簡稱檢漏，真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的，所以檢漏是必不可少的。 一、要確認漏氣到底的虛漏還是實漏。因為工件材料加熱后都會在不同程度上產生氣體，有可能誤以為是從外部流進的氣體，這就是虛漏，要排除這種情況。 二、測試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。 三、檢查漏孔的da小，形狀、位置，漏氣的速度，制備出可解決方案并實施。 四、確定檢測儀器的*小可檢漏率和檢漏靈敏性，以*da范圍的檢測出漏氣情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準確性。 五、把握檢漏儀器的反應時間和消除時間。把時間掌握好，保證檢漏儀器工作到位，時間少了，檢漏效果肯定差，時間長了，浪費檢漏氣體和人工電費。 六、還要避免漏孔堵塞。有時由于操作失誤，檢漏過程中，一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了，以為在該位置沒有漏孔，但當這些堵塞物由于內外壓強差異提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏氣還是存在的。 為真空鍍膜設備做好檢漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因多種多樣，我們要一一的解決這些原因，穩(wěn)定鍍膜的效果。 寧夏二手卷繞式真空鍍膜機

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