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蘇州耐磨氮化鈦產(chǎn)品介紹

來源: 發(fā)布時間:2023-07-02

17-4PH鋼表面Ti/TiN多層復(fù)合薄膜進(jìn)行了研究,應(yīng)用電弧離子鍍技術(shù)分析不同Ti層與TiN層厚度比值和不同復(fù)合層數(shù)對表面形貌、斷面形貌、成分、顯微硬度、相結(jié)構(gòu)、致密性、厚度均勻性、耐磨性、結(jié)合力等涂層性能的影響。通過研究確認(rèn),在Ti單層沉積3min、TiN單層沉積17min條件下制備的Ti/TiN六層復(fù)合薄膜具有極好的力學(xué)性能,可以使基體材料的表面硬度提高5倍以上,并使膜基結(jié)合力達(dá)到56N以上。可以有效的提高涂層的結(jié)合力,進(jìn)而提高產(chǎn)品的表面性能。調(diào)整氮化鈦中氮元素的百分含量,可以改變氮化鈦薄膜的顏色,從而達(dá)到理想的美觀效果。蘇州耐磨氮化鈦產(chǎn)品介紹

在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中,后段工藝日趨重要,為降低阻容遲滯(RCDelay),保證信號傳輸,減小功耗,有必要對后段工藝進(jìn)行改進(jìn),Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition,金屬有機物化學(xué)氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析,從厚度、雜質(zhì)濃度和晶體結(jié)構(gòu)三大薄膜電阻影響因素出發(fā)系統(tǒng)研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結(jié)構(gòu)中的各種性質(zhì),重點是等離子體處理(PlasmaTreatment,PT)下的晶體生長,制備循環(huán)次數(shù)的選擇對薄膜雜質(zhì)濃度、晶體結(jié)構(gòu)及電阻性能的影響,不同工藝薄膜在真實結(jié)構(gòu)中物理形貌、晶體結(jié)構(gòu)和電阻性能的表現(xiàn)和規(guī)律,超薄TiN薄膜(<5nm)的實際應(yīng)用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質(zhì)濃度降低,同時晶體生長,薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度,較厚薄膜需多循環(huán)制備以充分處理,發(fā)現(xiàn)薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm),增加循環(huán)次數(shù)雖然進(jìn)一步降低了雜質(zhì)濃度,但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發(fā)現(xiàn)由于等離子體運動的各向異性,真實結(jié)構(gòu)中PT效率在側(cè)壁遠(yuǎn)低于頂部和底部,這導(dǎo)致側(cè)壁薄膜在PT后更厚。鎮(zhèn)江潤滑氮化鈦鍍黑鈦改善鈦雙極板在質(zhì)子交換膜(PEM)水電解槽環(huán)境中耐腐蝕和導(dǎo)電性能,在鈦基底表面制備碳摻雜氮化鈦復(fù)合涂層。

TiN涂層的耐腐蝕性能進(jìn)行了試驗研究。除采用幾種較弱的腐蝕介質(zhì)外,還在H2SO4溶液、HCl溶液中對TiN涂層樣品做了浸泡試驗。所有結(jié)果表明:涂層后的樣品。其耐腐蝕性能比未涂層樣品提高幾倍至十幾倍。同時,在NaCl溶液、人工汗液和酸溶液中,分別測定了涂層和未涂層樣品的電化學(xué)行為。TiN涂層表現(xiàn)出較高的溶解電位,說明它在熱力學(xué)上對上述化學(xué)介質(zhì)是比較穩(wěn)定的。致密TiN涂層的耐腐蝕能力優(yōu)于不銹鋼,但是如果涂層有貫穿的孔洞或涂展太薄時,則涂層試樣也會被腐蝕。

自20世紀(jì)80年代以來,氮化鈦的研究受到了重視。氮化鈦化學(xué)性能穩(wěn)定,具有較強的耐磨損、耐腐蝕性及良好的生物相容性。在口腔醫(yī)學(xué)中主要應(yīng)用于切削及旋轉(zhuǎn)器械、種植體和義齒等表面鍍膜,以增強其耐磨損性及生物安全性。氮化鈦涂層作為一種新型陶瓷涂層,由于具有高熔點、高硬度、高溫化學(xué)穩(wěn)定性、高耐磨性及高耐腐蝕性能等優(yōu)點,已被廣泛應(yīng)用于切削刀具、高溫結(jié)構(gòu)材料和抗磨抗蝕部件上。在不銹鋼表面制備一層氮化鈦涂層來進(jìn)行表面改性,可有效提高其表面力學(xué)性能、耐蝕性能和生物兼容性能,有利于不銹鋼在航空航天、艦船兵器、石油化工、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用。氮化鈦的熔點高于大多數(shù)過渡金屬氮化物,密度低于大多數(shù)金屬氮化物,從而成為一種獨特的耐火材料。

TiN薄膜無毒、質(zhì)輕、強度高且具有優(yōu)良的生物相容性,因此它是非常理想的醫(yī)用金屬材料,可用作植入人體的植入物和手術(shù)器械等閻。此外,氮化鈦薄膜還能作為其他優(yōu)良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫(yī)用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性能和附著力。用TiN薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二鉬化硫潤滑劑的耐磨性。用TIN薄膜涂覆在IF—MS2上,因為它具有的高硬度、高熔點、高磨損抵抗力,優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性等特點,因此可以在提高飛機和航天器的發(fā)動機等零件的潤滑性能的同時,又可以保證航天零件的耐高溫和耐摩擦性能。氮化鈦涂層可降低牙科鑄造合金,尤其是賤金屬合金的腐蝕傾向,提高其耐蝕性。舟山防銹氮化鈦服務(wù)電話

TiN有著誘人的金黃色、熔點高、硬度大、化學(xué)穩(wěn)定性好、與金屬的潤濕小的結(jié)構(gòu)材料、并具有導(dǎo)電性和超導(dǎo)性。蘇州耐磨氮化鈦產(chǎn)品介紹

1.氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結(jié)構(gòu),屬面心立方點陣,晶格常數(shù)a=0.4241nm,其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學(xué)計量化合物其穩(wěn)定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16,氮的含量可以在一定的范圍內(nèi)變化而不引起TiN結(jié)構(gòu)的變化。TiN粉末一般呈黃褐色超細(xì)TiN粉末呈黑色,而TiN晶體呈金黃色。TiN熔點為2950℃,密度為5.43-5.44g/cm3,莫氏硬度8-9,抗熱沖擊性好。氫化鈦的理化性質(zhì)由氫元素的含量來決定,當(dāng)氨元素含量減少時氮化鈦的晶格參數(shù)反而增大,硬度也會有顯微的增大,但氮化鈦的抗震性隨之降低。TiN熔點比大多數(shù)過渡金屬氮化物的熔點高,而密度卻比大多數(shù)金屬氨化物低,因此是一種很有特色的耐熱材料。蘇州耐磨氮化鈦產(chǎn)品介紹

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