電阻真空計(jì)的三種類型：定電壓型通過(guò)保持設(shè)備電橋兩端電壓不變，再觀察失平衡電流與壓力的關(guān)系，來(lái)指示相應(yīng)的壓力變化。測(cè)量過(guò)程中，電壓固定，當(dāng)規(guī)管內(nèi)壓力波動(dòng)時(shí)會(huì)使熱傳導(dǎo)發(fā)生變化，熱絲溫度也因此發(fā)生變化，從而使其中的電阻發(fā)生改變，電橋失去平衡。定溫度型（定電阻）電阻真空計(jì)測(cè)量過(guò)程中，以電橋電壓與壓力的關(guān)系為核準(zhǔn)曲線。具體實(shí)現(xiàn)過(guò)程中，熱絲電阻及其溫度基本為定值。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí)，熱絲的溫度與電阻發(fā)生變化時(shí)就會(huì)通過(guò)調(diào)整電壓來(lái)使電橋恢復(fù)平衡，從而使熱絲溫度與電阻恢復(fù)原值。定電流型電阻真空計(jì)通過(guò)保持熱絲電流（或電橋電流）不變，再觀察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。這種形式的熱絲在壓力變化過(guò)程中，溫度變化非常劇烈，因此需要限制較高工作溫度，防止熱絲損毀，確保設(shè)備在全量程范圍內(nèi)的工作穩(wěn)定性。真空計(jì)又稱真空表，是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。臺(tái)州壓敏真空表銷售

皮拉尼型真空計(jì)的基本原理：利用惠斯通電橋Wheatstonebridge的補(bǔ)償原理，其中的一燈絲作為該電路的其中一個(gè)電阻。當(dāng)燈絲所在的氣體分子密度改變時(shí)，其熱導(dǎo)率會(huì)有所不同，因此燈絲所表現(xiàn)的溫度也會(huì)不同，間接影響電阻值的大小。固定電壓，固定電流以及固定溫度中以較后一種方法做敏感。值得注意的是，不同氣體的熱導(dǎo)率不同，因此在測(cè)量的時(shí)候要刻度上需要校對(duì)。此行真空計(jì)通過(guò)測(cè)量一發(fā)熱體與一接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來(lái)判斷氣體的壓力。當(dāng)Kn值（克努森數(shù)）在0.01

真空系統(tǒng)常用名稱：(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。(2)前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。(3)粗抽泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時(shí)，不能有效地利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵，就是維持泵。

皮拉尼型真空計(jì)在氣相沉積中的分類：?jiǎn)纹矸e工藝推動(dòng)并導(dǎo)致產(chǎn)生了新的CVD反應(yīng)室結(jié)構(gòu)。這些新的結(jié)構(gòu)中絕大多數(shù)都使用了等離子體，其中一部分是為了加快反應(yīng)過(guò)程，也有一些系統(tǒng)外加一個(gè)按鈕，以控制淀積膜的質(zhì)量。根據(jù)金屬源的自特性來(lái)保證它的分類，這些金屬的典型狀態(tài)是液態(tài)，在導(dǎo)入容器之前必須先將它氣化。通過(guò)調(diào)整淀積：蝕刻比率，有可能得到一個(gè)很好的縫隙填充工藝。皮拉尼真空計(jì)，又有翻譯派藍(lán)尼真空計(jì)。此種真空計(jì)屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。電阻真空計(jì)的維修方法檢修調(diào)節(jié)電位器及其線路。

電阻真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范：真空計(jì)又稱真空表，是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的。某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中使用。校準(zhǔn)完零點(diǎn)后，需對(duì)其滿度校正。按滿度校正過(guò)程要求，對(duì)被測(cè)爐腔放人大氣，確保被校電阻規(guī)所測(cè)位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下工作約10分鐘。對(duì)于無(wú)自動(dòng)滿度校準(zhǔn)的電阻真空計(jì)，可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。低溫的氣體分子碰撞高溫固體時(shí),會(huì)從固體奪取熱量。通過(guò)被氣體分子奪取的熱量來(lái)計(jì)算壓力的真空計(jì)被成為熱傳導(dǎo)真空計(jì)。電阻真空計(jì)的維修方法檢查電源插座有無(wú)供電電壓。陜西榆林電阻型真空表

電阻真空計(jì)系是利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制造作而成的。臺(tái)州壓敏真空表銷售

熱陰極電壓真空計(jì)的常見(jiàn)故障：電源開(kāi)關(guān)接通后指示燈不亮。這種故障可能產(chǎn)生的原因包括：無(wú)供電電壓；電源線斷路；電源保險(xiǎn)絲燒斷；指示燈燈絲燒斷或接觸不良。規(guī)管電源接通后燈絲不亮。這種故障可能產(chǎn)生原因包括：真空度過(guò)低，規(guī)管燈絲燒斷；規(guī)管插座、開(kāi)關(guān)、電纜或管座等損壞或接觸不良；規(guī)管燈絲很暗，無(wú)發(fā)射電流。故障可能原因：電源變壓器短路；晶體管穩(wěn)流器的檢出放大管無(wú)集電極輔助電壓；檢測(cè)放大器或基準(zhǔn)參考電壓部分損壞；過(guò)流保護(hù)電路晶體管損壞或元件變值，致使穩(wěn)流器過(guò)流保護(hù)裝置非正常工作。規(guī)管燈絲較暗，發(fā)射電流調(diào)不到額定值（5mA）。故障產(chǎn)生可能原因：電源變壓器短路；規(guī)管燈絲氧化或發(fā)射能力不足；規(guī)管燈絲超過(guò)正常亮度又無(wú)發(fā)射電流。故障產(chǎn)生原因可能是無(wú)加速極電壓。臺(tái)州壓敏真空表銷售

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