運輸及使用時必須嚴防倒置平臥，以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進入中間閉管毛細管內(nèi)堵塞毛細管，影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直，以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計玻璃管內(nèi)。在測量時即真空表為直立狀態(tài),嚴禁將任何氣體強烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過化學(xué)物理方法處理，有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會直接影響測量精度，應(yīng)及時送往修理，經(jīng)檢驗合格后方可使用。真空計在測量結(jié)束后，應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔，也能避免真空計被取下分離時，大氣強烈沖擊真空計使其破碎。如不將真空計取下，應(yīng)在機械真空泵停止后，一定要將機械泵與真空系統(tǒng)氣路斷開，并將機械泵內(nèi)放入大氣以免機械泵油返入真空系統(tǒng)及真空計受到油的污染。真空計是基于皮拉尼真空計的熱傳導(dǎo)原理設(shè)計，配備集成的繼電器輸出，適合工藝控制。金華皮拉尼真空表單價

電阻真空計特點：1.電阻真空計配用的傳感器抗沾污、抗氧化、結(jié)實、不怕氣流沖擊與振動。2.重復(fù)性好。眾所周知，在工業(yè)應(yīng)用中，真空測量的重復(fù)性比側(cè)量精度更為重要。是用戶較關(guān)心的一個指標。測試結(jié)果與應(yīng)用實例表明本真空計的重復(fù)性是工業(yè)應(yīng)用中較理想的中、低真空測量儀器。3.測量范圍寬。國內(nèi)外熱偶真空計的測量范圍達到1-105Pa尚是一次出現(xiàn)。4.帶有兩組觸點輸出。既可作真空檢測，又可作真空監(jiān)控真空繼電器用。5.帶有斷絲報警。當規(guī)管斷絲或規(guī)管電纜接觸不良，操作者能及時發(fā)現(xiàn)。壓敏真空表批發(fā)廠家電阻真空計的優(yōu)點在于結(jié)構(gòu)簡單、能連續(xù)測量、可以測量總壓強、使用方便。

測量時壓力計旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進行，真空計使用完畢應(yīng)立即回復(fù)橫臥狀態(tài)，橫臥過程中可能出現(xiàn)小?；瘜W(xué)物質(zhì)珠滯塞于玻璃容器入口處，可將壓力計略為倒轉(zhuǎn)收回化學(xué)物質(zhì)珠。運輸和使用不慎會導(dǎo)致化學(xué)物質(zhì)珠進入并粘附于中間玻璃毛細管，可用機械真空泵對真空計抽氣，并往復(fù)擺動真空計，使化學(xué)物質(zhì)珠回流。仍未見效，則可在抽氣同時對化學(xué)物質(zhì)珠上端玻璃管加微熱，利用空氣受熱膨脹使化學(xué)物質(zhì)珠回流。麥氏真空計使用完畢應(yīng)將橡皮管扎緊，先關(guān)閉真空閥再關(guān)閉真空泵，以防真空泵內(nèi)的油進入真空計和真空系統(tǒng)。

電離計的反應(yīng)熱真空計快，但因示漏氣體在真空系統(tǒng)中建立足夠分壓需要較長時間，故巡噴速度亦不能太快。電離計能檢漏的壓力范圍，大致同于其測量范圍，故各種類型電離計各有其檢漏的壓力范圍。電離計能檢的較小可檢漏孔約為1*10-6——1*10-7托升/秒。在真空計檢漏中，即使示漏氣體對著漏孔噴吹?；蛘呤韭┮后w涂于漏孔，實際上都不可避免要夾帶有空氣進去，即示漏物質(zhì)并沒有徹底取代空氣。帶進去的空氣一方面沖淡了示漏物質(zhì)的作用，另一方面還會引起不必要的讀數(shù)波動，因為混進的空氣分量時大時小。在數(shù)字真空計的使用過程中，影響電子真空計工作的常見問題是傳感器污染。

定溫型電阻真空計工作原理是：先在10-2～10-3 Pa真空度時，將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值)；改變電阻Rv使電橋平衡，即指示儀表CB指向零；當壓力增高時，熱損耗大，熱絲溫度降低，電阻變小，電橋失去平衡，CB有指示；再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡，則熱絲溫度及電阻回復(fù)原值。文氏橋定溫型電阻真空計測量線路原理：電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1，R2、C2，R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K～為交流振蕩器，其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間，并對規(guī)管熱絲加熱。真空計垂直放置在大氣時壓強讀數(shù)較小，水平放置在大氣時，壓強讀數(shù)較大。臨沂壓敏真空計廠家電話

真空計一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化氣壓的測量。金華皮拉尼真空表單價

我們在進等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。金華皮拉尼真空表單價

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