我們在進(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦順?biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計(jì)在測量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮?dú)狻鍤夂图淄闅夥謩e用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測量。當(dāng)氣體分子平均自由程大于容器的線度時(shí)，電阻真空計(jì)的熱傳導(dǎo)系數(shù)正比于壓強(qiáng)。紹興壓敏真空表多少錢

真空計(jì)是應(yīng)用真空中熱傳導(dǎo)與真空度有關(guān)的原理測量真空。適用于300 Pa -0.1Pa范圍內(nèi)的真空測量和控制，采用ZJ-54D直插式或ZJ54DK快卸式（由用戶訂購時(shí)選擇）金屬熱偶規(guī)管，在機(jī)械泵測試、真空冶煉、真空浸漬、空調(diào)冰箱線等工業(yè)和科研有廣泛應(yīng)用。真空計(jì)按測量性質(zhì)可分為對的真空計(jì)和相對真空計(jì)。所謂對的真空計(jì)就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計(jì)，例如U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)就是對的真空計(jì)。真空計(jì)短期內(nèi)不使用，可用鐵扎頭扎緊橡皮管，用紗布拭去橡皮管的油脂，再用塞頭堵塞內(nèi)經(jīng)，置于干燥、通風(fēng)、避光處保存。重慶電阻型真空表批發(fā)在數(shù)字真空計(jì)的使用過程中，影響電子真空計(jì)工作的常見問題是傳感器污染。

測量時(shí)壓力計(jì)旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進(jìn)行，真空計(jì)使用完畢應(yīng)立即回復(fù)橫臥狀態(tài)，橫臥過程中可能出現(xiàn)小?；瘜W(xué)物質(zhì)珠滯塞于玻璃容器入口處，可將壓力計(jì)略為倒轉(zhuǎn)收回化學(xué)物質(zhì)珠。運(yùn)輸和使用不慎會導(dǎo)致化學(xué)物質(zhì)珠進(jìn)入并粘附于中間玻璃毛細(xì)管，可用機(jī)械真空泵對真空計(jì)抽氣，并往復(fù)擺動真空計(jì)，使化學(xué)物質(zhì)珠回流。仍未見效，則可在抽氣同時(shí)對化學(xué)物質(zhì)珠上端玻璃管加微熱，利用空氣受熱膨脹使化學(xué)物質(zhì)珠回流。麥?zhǔn)险婵沼?jì)使用完畢應(yīng)將橡皮管扎緊，先關(guān)閉真空閥再關(guān)閉真空泵，以防真空泵內(nèi)的油進(jìn)入真空計(jì)和真空系統(tǒng)。

定溫型電阻真空計(jì)工作原理是：先在10-2～10-3 Pa真空度時(shí)，將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值)；改變電阻Rv使電橋平衡，即指示儀表CB指向零；當(dāng)壓力增高時(shí)，熱損耗大，熱絲溫度降低，電阻變小，電橋失去平衡，CB有指示；再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡，則熱絲溫度及電阻回復(fù)原值。文氏橋定溫型電阻真空計(jì)測量線路原理：電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1，R2、C2，R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K～為交流振蕩器，其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間，并對規(guī)管熱絲加熱。皮拉尼真空計(jì)測得壓力值隨著一次干燥過程的進(jìn)行，逐漸在減小。

真空計(jì)是基于皮拉尼真空計(jì)的熱傳導(dǎo)原理設(shè)計(jì)，配備集成的繼電器輸出，適合工藝控制。還帶有LED環(huán)，可顯示真空計(jì)的狀態(tài)。真空計(jì)的可靠性高，操作簡単，測量結(jié)果重復(fù)性好，可持續(xù)監(jiān)視若干測量地點(diǎn)，安裝簡單并且節(jié)省成本和空間。真空計(jì)間接壓力測量是通過測量氣體與壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導(dǎo)率、電離概率）進(jìn)行間接測量的，因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮?dú)鉃闇y量氣體時(shí)的讀數(shù)，對于其它氣體，可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。真空泵用真空計(jì)還配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器。帶有鍍膜適合腐蝕性應(yīng)用。熱導(dǎo)式電阻真空計(jì)測量值跟氣體成分有關(guān)。麗水電阻型真空表廠家

隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。紹興壓敏真空表多少錢

PM-5型掛壁式麥?zhǔn)险婵沼?jì)使用方法：1、在開箱安裝之前，請勿隨意旋轉(zhuǎn)底部的手輪或撳壓杠桿，以免造成化學(xué)物質(zhì)的流出，始終保持直立的姿勢。2、采用支撐式或杠桿式的真空計(jì)，請將三根支撐桿擰上，選擇一個(gè)合適的臺面，按置真空計(jì)，若是采用掛壁式的必須用羅栓作固定，安裝時(shí)必須保持真空計(jì)與水平面的垂直度。3、對于掛壁式真空計(jì)，由于其整機(jī)在固定后不能晃動造成壓縮腔內(nèi)的殘余氣體被化學(xué)物質(zhì)壓迫而抽不干凈，故在真空計(jì)作固定前須用一臺極限真空能抽至0.1Pa以上的真空泵對真空計(jì)進(jìn)行單獨(dú)抽氣,邊抽邊進(jìn)行測量,待真空計(jì)顯示出真空度在5Pa以上后,再關(guān)閉真空泵,然后將直立姿勢的真空計(jì)固定起來,對于支撐形式的真空計(jì),抽一下高真空,再投入到測量工作中去?！　〗B興壓敏真空表多少錢

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