定溫型電阻真空計工作原理是：先在10-2～10-3 Pa真空度時，將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值)；改變電阻Rv使電橋平衡，即指示儀表CB指向零；當(dāng)壓力增高時，熱損耗大，熱絲溫度降低，電阻變小，電橋失去平衡，CB有指示；再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡，則熱絲溫度及電阻回復(fù)原值。文氏橋定溫型電阻真空計測量線路原理：電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1，R2、C2，R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K～為交流振蕩器，其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間，并對規(guī)管熱絲加熱。真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。濟南智能型真空計廠家推薦

皮拉尼電阻真空計是一種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計組成，用于測量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好，不易損壞。儀器采用微處理機完成測量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動非線性參數(shù)修正和誤差補償功能，并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術(shù)，提高了測量精度及抗干擾能力，特別對于電子束、離子束以及弧放電等強干擾源都有非凡的抗干擾能力。每臺真空計均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口，用來實現(xiàn)真空度定值點和區(qū)域的控制。定值點及區(qū)域可方便自由設(shè)定，該儀器控制面板更人性化，操作更方便，開電源即可工作。本機線路設(shè)計合理，制作工藝考究，采用了整板設(shè)計，波峰焊接。其軟件編排獨特，算法先進，使儀器的測量與控制穩(wěn)定可靠。濟南智能型真空計廠家推薦真空計按測量性質(zhì)可分為真空計和相對真空計。

各項指標全符合JJG236-2009 《活塞式壓力真空計〉家計量檢定規(guī)程，運用我廠50年中間技術(shù)推出的壓力計。兩個被檢表接頭處設(shè)計有兩個截止閥，截止閥能及時關(guān)閉被檢系統(tǒng)之間的壓力。由于活塞式真空壓力計在加減砝碼時，必須減壓將活塞降下來，而被檢精密壓力表、壓力變送器、傳感器等和系統(tǒng)之間若不能被截止，表中的壓力會隨著活塞升降而升降，則考核不出被檢表的回程誤差，就不能符合精密壓力表、壓力變送器、壓力傳感器等檢定規(guī)程的要求和耐壓檢定的要求。

測量時壓力計旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進行，真空計使用完畢應(yīng)立即回復(fù)橫臥狀態(tài)，橫臥過程中可能出現(xiàn)小?；瘜W(xué)物質(zhì)珠滯塞于玻璃容器入口處，可將壓力計略為倒轉(zhuǎn)收回化學(xué)物質(zhì)珠。運輸和使用不慎會導(dǎo)致化學(xué)物質(zhì)珠進入并粘附于中間玻璃毛細管，可用機械真空泵對真空計抽氣，并往復(fù)擺動真空計，使化學(xué)物質(zhì)珠回流。仍未見效，則可在抽氣同時對化學(xué)物質(zhì)珠上端玻璃管加微熱，利用空氣受熱膨脹使化學(xué)物質(zhì)珠回流。麥氏真空計使用完畢應(yīng)將橡皮管扎緊，先關(guān)閉真空閥再關(guān)閉真空泵，以防真空泵內(nèi)的油進入真空計和真空系統(tǒng)。當(dāng)氣體分子平均自由程大于容器的線度時，電阻真空計的熱傳導(dǎo)系數(shù)正比于壓強。

電阻真空計也稱熱電阻真空計或皮拉尼真空計，由電阻規(guī)管和測量儀表單元組成。現(xiàn)以定溫式電阻真空計為例說明其測量原理。所謂定溫式就是利用加熱電源的自動補償功能，在測量過程中保持熱絲溫度不變，也就恒定了熱絲的電阻。在電阻規(guī)管里有一個電阻隨溫度變化的熱絲，給熱絲通電發(fā)熱，若爐內(nèi)氣體較多，氣體壓力P就大，氣體分子從熱絲上傳走的熱量就多，熱絲溫度降低，熱絲電阻也就隨之減小，若取熱絲兩端電壓V或流過熱絲的電流I值作為補償參數(shù)，加熱電源系統(tǒng)會啟動補償功能，自動提高加熱電壓或電流，使其熱絲溫度保持不變，即恒定了熱絲的電阻值。利用在一定溫度下，補償電壓V或電流I與氣體壓強P的函數(shù)關(guān)系，就可計算出氣體壓強(真空度)。壓縮式真空計是對U型管真空計的重大改進，它是依據(jù)理想氣體的波義耳定律制成的。西安電阻真空計報價

電阻真空計在實際使用中，需要采取各種補償法來克服環(huán)境溫度的影響。濟南智能型真空計廠家推薦

我們在進等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。濟南智能型真空計廠家推薦

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