我們在進(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標(biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準(zhǔn)確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進(jìn)行測量。在使用之前，先將真空排氣管向上拎起，讓真空表放在下面。寧波皮拉尼真空表多少錢

對于使用進(jìn)口電阻真空計時如何保證測量吸氣劑放氣量的精度這一問題進(jìn)行了探索。首先通過對膨脹法標(biāo)準(zhǔn)裝置的改進(jìn)、提高極限真空、提高靜態(tài)保持的真空度、改進(jìn)取氣方法等項措施,提高了校準(zhǔn)精度。使校準(zhǔn)誤差控制在不大于±10%以內(nèi)。同時又討論了測量時的環(huán)境溫度、氣體種類、真空計的靈敏度、熱絲的污染等因素對儀器測量精度的影響和消除方法。薄膜電阻真空計的測量范圍為1托～1000托,線性測量,測量精度優(yōu)于5%,為全壓強測量,測量值受被測氣體種類影響較小，引言利用集成電路平面工藝在硅膜片上制作四個等值電阻,組成惠斯登電橋。濱州單路電阻真空計批發(fā)價格真空計傳感器通?？捎卯惐记逑?。

在抽氣管內(nèi)塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計在運輸途中化學(xué)物質(zhì)流失用的，請在真空計安置之后，與真空系統(tǒng)相連時再作抽出（請別丟棄，以后送維修時，還需塞緊后寄回）。對于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計，采用羅栓作固定的安裝時必須保證真空計與水平面的垂直度，采用支撐式或帶杠桿的請將三根支撐桿一一擰上（杠桿式的在左側(cè)還配有一根平衡桿），選擇一個適合擺放支撐真空計的平臺面，安置好真空計。當(dāng)測量完畢后，應(yīng)及時的關(guān)閉真空計與測量系統(tǒng)之間的閥門，將手輪退到擰不動為止，把杠桿退還到起始位置即可。

如果兩側(cè)壓強差很大，則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強，這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容隔膜真空計，進(jìn)一步提高了測量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。若是采用掛壁式的必須用羅栓作固定，安裝時必須保持真空計與水平面的垂直度。

眾所周知，真空計具有簡單、經(jīng)濟、使用方便等特點，在中真空以至低真空測量中都占有重要的地位。然而，我們發(fā)現(xiàn)它的規(guī)管雖然簡單，但由于絲細(xì)而長比較脆弱，經(jīng)不起振動和氣流沖擊，同時絲表面對污染較為敏感，即使采用白金絲或鍍金鎢絲，穩(wěn)定性仍然很差。電阻真空計屬熱導(dǎo)真空計，產(chǎn)生于1906年，但只是在40年代解決了細(xì)絲焊接問題之后，它才得到實際應(yīng)用。由于它相對皮氏計而言，更為簡單、可靠，在許多地方代替了皮氏計。不過，迄今為止，商售熱偶真空計單限于定流式一種，一般測盆上限單為100Pa。電阻真空計，基于定溫和對流原理，采用穩(wěn)定型熱偶真空規(guī)管和現(xiàn)代電子器件，成功地把測量上限擴展至大氣壓，并彌補了皮氏計的不足之處，為熱導(dǎo)真空計的廣泛應(yīng)用開拓了新的前景。在數(shù)字真空計的使用過程中，影響電子真空計工作的常見問題是傳感器污染。煙臺數(shù)字電阻真空計售價

主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。寧波皮拉尼真空表多少錢

皮拉尼電阻真空計是一種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計組成，用于測量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好，不易損壞。儀器采用微處理機完成測量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動非線性參數(shù)修正和誤差補償功能，并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術(shù)，提高了測量精度及抗干擾能力，特別對于電子束、離子束以及弧放電等強干擾源都有非凡的抗干擾能力。每臺真空計均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口，用來實現(xiàn)真空度定值點和區(qū)域的控制。定值點及區(qū)域可方便自由設(shè)定，該儀器控制面板更人性化，操作更方便，開電源即可工作。本機線路設(shè)計合理，制作工藝考究，采用了整板設(shè)計，波峰焊接。其軟件編排獨特，算法先進(jìn)，使儀器的測量與控制穩(wěn)定可靠。寧波皮拉尼真空表多少錢

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