測量真空度時（A）以旋轉(zhuǎn)手輪進(jìn)行測量時，從真空計上方看手輪，順時針旋轉(zhuǎn)的是提升化學(xué)物質(zhì)，旋轉(zhuǎn)進(jìn)度必須緩慢，當(dāng)抽氣管（也稱比較管）中汞面升到SET設(shè)定處，再看右側(cè)測量管中的汞面位置，其相對應(yīng)的讀數(shù)，即為系統(tǒng)的真空度，（B）以杠桿式測量的，左手按住平衡桿，右手將杠桿扳出并向下勻速掀下，讓抽氣管中汞面升至SET設(shè)定處，（在極限真空時，汞面升到SET設(shè)定處時，杠桿會自動地停留在這個位置），再看右側(cè)真空度數(shù)。（C）對于PM-6型真空計的讀數(shù)，低真空的測量方式與A，B兩種一樣，左側(cè)粗真空的測量方法是讓右側(cè)測量管中的汞面升到測量管下端的“0”位線，然后再看左側(cè)比較管中的汞面所對應(yīng)的讀數(shù)，即為系統(tǒng)的粗真空度。電阻真空計測量范圍寬，將電子技術(shù)的新成就應(yīng)用到電阻真空計中，可使其誤差減小。煙臺單路電阻真空表單價

我們在進(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮?dú)鈦順?biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮?dú)?、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進(jìn)行測量。威海電阻型真空表售價皮拉尼電阻真空計是一種低真空測量儀器。

實(shí)用的電阻真空計測量線路常采用惠氏電橋或文氏電橋。根據(jù)測量熱絲電阻變化的方法不同，可分為三種模式：(1)定電壓法：保持電橋兩端電壓不變，觀察失平衡電流與壓力的關(guān)系。(2)定電流法：保持熱絲電流(或電橋電流)不變，觀察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。(3)定電阻法(即定溫度法)：在任何壓力下都用改變電橋電壓的方法，保持電橋于平衡狀態(tài)。電橋電壓與壓力的關(guān)系即為校準(zhǔn)曲線。在此方法中，熱絲電阻及其溫度基本為定值，具有熱輻射及邊桿導(dǎo)熱均為恒定的優(yōu)點(diǎn)。在以上三種模式中，常用的是定電壓法和定溫度法。

眾所周知，真空計具有簡單、經(jīng)濟(jì)、使用方便等特點(diǎn)，在中真空以至低真空測量中都占有重要的地位。然而，我們發(fā)現(xiàn)它的規(guī)管雖然簡單，但由于絲細(xì)而長比較脆弱，經(jīng)不起振動和氣流沖擊，同時絲表面對污染較為敏感，即使采用白金絲或鍍金鎢絲，穩(wěn)定性仍然很差。電阻真空計屬熱導(dǎo)真空計，產(chǎn)生于1906年，但只是在40年代解決了細(xì)絲焊接問題之后，它才得到實(shí)際應(yīng)用。由于它相對皮氏計而言，更為簡單、可靠，在許多地方代替了皮氏計。不過，迄今為止，商售熱偶真空計單限于定流式一種，一般測盆上限單為100Pa。電阻真空計，基于定溫和對流原理，采用穩(wěn)定型熱偶真空規(guī)管和現(xiàn)代電子器件，成功地把測量上限擴(kuò)展至大氣壓，并彌補(bǔ)了皮氏計的不足之處，為熱導(dǎo)真空計的廣泛應(yīng)用開拓了新的前景。當(dāng)電阻真空計測得值與電容真空計測得值接近時可以判斷一次干燥過程結(jié)束。

如果兩側(cè)壓強(qiáng)差很大，則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強(qiáng)，這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實(shí)現(xiàn)的差動式雙電容隔膜真空計，進(jìn)一步提高了測量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。隔膜真空計是一種高精度真空測量儀器，專為惡劣的制造環(huán)境而設(shè)計。德州數(shù)顯式電阻真空表批發(fā)廠家

壓縮式真空計是對U型管真空計的重大改進(jìn)，它是依據(jù)理想氣體的波義耳定律制成的。煙臺單路電阻真空表單價

壓縮式真空計是對U型管真空計的重大改進(jìn)，它是依據(jù)理想氣體的波義耳定律制成的。由于它首先是由麥克勞提出的，故此種真空計又稱為麥克勞真空計(簡稱麥?zhǔn)嫌?。壓縮式真空計是測量壓力低于1Pa實(shí)用的對的真空計，并且從1874年至今仍做為校準(zhǔn)其它真空計的主要儀器。測量前將壓縮式真空計的導(dǎo)管與被測系統(tǒng)相連接，由于系統(tǒng)內(nèi)壓力各處相等，所以玻璃泡和測量毛細(xì)管內(nèi)的壓力與待測系統(tǒng)內(nèi)的壓力p相等。在刻度過程中，h1可選其等于任意值，選定一個值(一條基準(zhǔn)線)就可有一對應(yīng)的刻度尺，因此，同一臺壓縮式真空計可同時選定幾個h1值，就可有對應(yīng)的幾個不同的刻度尺。煙臺單路電阻真空表單價

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