隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關鍵元器件,就隔膜真空計本身而言,根據(jù)其測量原理以及量程,精度,組織構(gòu)造,分為很多種類型,這給實際使用中的隔膜真空計選型帶來了一定的難度,本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路,兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計種類。對于每一個等級內(nèi)的真空度,較佳的測量儀器是不一樣的,具體來說,若處于中低真空的范圍,通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計,若處于高真空或者超高真空的范圍,則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是,皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測量誤差較大,且對氣體種類敏感,因此若設備的工作真空度在10^3Pa以上,或者過程中對這個區(qū)域的真空度需要監(jiān)控,而且要求測量精度很高,則不宜選擇單純的皮拉尼隔膜真空計,可以考慮皮拉尼與膜片電容復合的隔膜真空計。電阻真空計的優(yōu)點在于結(jié)構(gòu)簡單、能連續(xù)測量、可以測量總壓強、使用方便。寧波數(shù)字電阻真空表廠家電話
我們在進等離子體化學氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。寧波數(shù)字電阻真空表廠家電話隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關鍵元器件。
在真空裝置自動控制中,往往要進行真空測量,由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同,因此,從100000-0.00001的各個真空區(qū)域的真空測量均會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能,真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。因此,一個配置齊全的真空計,不單能進行真空度測量、數(shù)字顯示、量程自動切換、誤差自動修正,而且能在壓力設定點發(fā)出控制信號去進行壓力控制,按設定壓力值進行壓力自動調(diào)節(jié),還能將測量值打印記錄,并與上位機進行通信聯(lián)系,甚至還能進行遠距離真空測童與控制。
測量時壓力計旋轉(zhuǎn)至直立狀應緩慢進行,真空計使用完畢應立即回復橫臥狀態(tài),橫臥過程中可能出現(xiàn)小粒化學物質(zhì)珠滯塞于玻璃容器入口處,可將壓力計略為倒轉(zhuǎn)收回化學物質(zhì)珠。運輸和使用不慎會導致化學物質(zhì)珠進入并粘附于中間玻璃毛細管,可用機械真空泵對真空計抽氣,并往復擺動真空計,使化學物質(zhì)珠回流。仍未見效,則可在抽氣同時對化學物質(zhì)珠上端玻璃管加微熱,利用空氣受熱膨脹使化學物質(zhì)珠回流。麥氏真空計使用完畢應將橡皮管扎緊,先關閉真空閥再關閉真空泵,以防真空泵內(nèi)的油進入真空計和真空系統(tǒng)。要保持化學物質(zhì)的純度,化學物質(zhì)受污染會影響測量的精度。麥氏真空計短期內(nèi)不使用,可用鐵扎頭扎緊橡皮管,用紗布拭去橡皮管的油脂,再用塞頭堵塞內(nèi)經(jīng),置于干燥、通風、避光處保存。代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。
如果你的被測真空系統(tǒng)達不到5PA以上的低真空度時,請選擇壹臺能抽到0.1PA以上的2X或2XZ型的真空泵對真空計單獨進行一次真空排氣,當真空計能顯示出5PA的以上真空度數(shù)時,再讓真空計與被檢測的真空系統(tǒng)進行相互聯(lián)接,若采用真空橡膠管相連的請將膠管的長度縮短到50公分以內(nèi),當然,若真空計與真空系統(tǒng)配套的話,先用¢6MM的紫銅管與真空計銅接嘴相互焊接,與真空系統(tǒng)之間配置一個可以控制的閥門,它對真空計的使用壽命來說,會得到更好的保障。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計會成為熱傳導真空計。西安指針式真空表廠家電話
當電阻真空計測得值與電容真空計測得值接近時可以判斷一次干燥過程結(jié)束。寧波數(shù)字電阻真空表廠家電話
實用的電阻真空計測量線路常采用惠氏電橋或文氏電橋。根據(jù)測量熱絲電阻變化的方法不同,可分為三種模式:(1)定電壓法:保持電橋兩端電壓不變,觀察失平衡電流與壓力的關系。(2)定電流法:保持熱絲電流(或電橋電流)不變,觀察失平衡電壓與壓力的關系。(3)定電阻法(即定溫度法):在任何壓力下都用改變電橋電壓的方法,保持電橋于平衡狀態(tài)。電橋電壓與壓力的關系即為校準曲線。在此方法中,熱絲電阻及其溫度基本為定值,具有熱輻射及邊桿導熱均為恒定的優(yōu)點。在以上三種模式中,常用的是定電壓法和定溫度法。寧波數(shù)字電阻真空表廠家電話
上海家君真空儀表制造有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè),技術力量雄厚。是一家有限責任公司(自然)企業(yè),隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎上經(jīng)過不斷改進,追求新型,在強化內(nèi)部管理,完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時,良好的質(zhì)量、合理的價格、完善的服務,在業(yè)界受到寬泛好評。公司業(yè)務涵蓋麥氏真空計,熱偶真空計,電阻真空計,真空泵,價格合理,品質(zhì)有保證,深受廣大客戶的歡迎。家君真空儀表順應時代發(fā)展和市場需求,通過**技術,力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的麥氏真空計,熱偶真空計,電阻真空計,真空泵。