在較高壓力時(10～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等；在10～10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。真空計在使用之前，先將真空排氣管向上拎起，讓真空表放在下面，以防在運輸過程中玻管內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)珠滑入排氣管內(nèi)。然后拉起橡皮塞，在排氣管口內(nèi)壁上涂上蓖麻油或真空油脂直接連接到被測真空系統(tǒng)的接口上，開啟機械真空泵約3-5分鐘，然后再緩慢打開連接真空表外的真空閥門，這時儀表進入工作狀態(tài)。真空計具有簡單、經(jīng)濟、使用方便等特點。溫州智能型真空計售價

如果兩側(cè)壓強差很大，則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強，這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容隔膜真空計，進一步提高了測量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。上海ZDJ-8型真空計銷售廠家隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。

我們在進等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標(biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準(zhǔn)確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。

在抽氣管內(nèi)塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計在運輸途中化學(xué)物質(zhì)流失用的，請在真空計安置之后，與真空系統(tǒng)相連時再作抽出（請別丟棄，以后送維修時，還需塞緊后寄回）。對于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計，采用羅栓作固定的安裝時必須保證真空計與水平面的垂直度，采用支撐式或帶杠桿的請將三根支撐桿一一擰上（杠桿式的在左側(cè)還配有一根平衡桿），選擇一個適合擺放支撐真空計的平臺面，安置好真空計。當(dāng)測量完畢后，應(yīng)及時的關(guān)閉真空計與測量系統(tǒng)之間的閥門，將手輪退到擰不動為止，把杠桿退還到起始位置即可。采用電阻真空計真空傳感器，可以測量真空度，實時監(jiān)控真空系統(tǒng)的真空度。

運輸及使用時必須嚴防倒置平臥，以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進入中間閉管毛細管內(nèi)堵塞毛細管，影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直，以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計玻璃管內(nèi)。在測量時即真空表為直立狀態(tài),嚴禁將任何氣體強烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過化學(xué)物理方法處理，有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會直接影響測量精度，應(yīng)及時送往修理，經(jīng)檢驗合格后方可使用。真空計在測量結(jié)束后，應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔，也能避免真空計被取下分離時，大氣強烈沖擊真空計使其破碎。如不將真空計取下，應(yīng)在機械真空泵停止后，一定要將機械泵與真空系統(tǒng)氣路斷開，并將機械泵內(nèi)放入大氣以免機械泵油返入真空系統(tǒng)及真空計受到油的污染。隔膜真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強的真空計。內(nèi)蒙指針式真空計批發(fā)

主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。溫州智能型真空計售價

安裝上抽氣接頭和用作密封的羅帽，用真空排氣管聯(lián)接真空系統(tǒng)，若有條件請采用￠6mm的紫銅管進行焊接，盡可能減少漏氣的可能性，注意焊接時，必須將真空計套在接頭上的密封圈取下。測量時，以旋轉(zhuǎn)手輪進行測量的，必須將化學(xué)物質(zhì)升至SET設(shè)定處，在看右側(cè)測量管內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)，所指向的真空度數(shù)。讀數(shù)后,必須將手輪及時的返旋回來,憑手感吃力為止。操作PM-6型的真空計，除上面所提到的低真空度測量外，對粗真空度的測量方法是：將右側(cè)測量管內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)上升至左側(cè)下方的“○→” 位置，看抽氣管（也稱比較開管）內(nèi)化學(xué)物質(zhì)所指向的真空度數(shù)，即為粗真空度。切記！除在跟蹤測量外，其余的真空度以三次測量未變的數(shù)值為準(zhǔn)確。溫州智能型真空計售價

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