運輸及使用時必須嚴防倒置平臥，以防化學物質倒回真空像皮管內或化學物質珠進入中間閉管毛細管內堵塞毛細管，影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直，以使化學物質能流回真空計玻璃管內。在測量時即真空表為直立狀態(tài),嚴禁將任何氣體強烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計內工作汞已經經過化學物理方法處理，有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的化學物質氧化污染會直接影響測量精度，應及時送往修理，經檢驗合格后方可使用。真空計在測量結束后，應用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計內化學物質清潔，也能避免真空計被取下分離時，大氣強烈沖擊真空計使其破碎。如不將真空計取下，應在機械真空泵停止后，一定要將機械泵與真空系統(tǒng)氣路斷開，并將機械泵內放入大氣以免機械泵油返入真空系統(tǒng)及真空計受到油的污染。真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。臨沂帶控制型真空計廠家推薦

我們在進等離子體化學氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。西安ZDJ-8型真空計直銷廠家在一次干燥過程當中，電阻真空計測得值比電容真空計測得值高約為60%。

測量真空度時（A）以旋轉手輪進行測量時，從真空計上方看手輪，順時針旋轉的是提升化學物質，旋轉進度必須緩慢，當抽氣管（也稱比較管）中汞面升到SET設定處，再看右側測量管中的汞面位置，其相對應的讀數(shù)，即為系統(tǒng)的真空度，（B）以杠桿式測量的，左手按住平衡桿，右手將杠桿扳出并向下勻速掀下，讓抽氣管中汞面升至SET設定處，（在極限真空時，汞面升到SET設定處時，杠桿會自動地停留在這個位置），再看右側真空度數(shù)。（C）對于PM-6型真空計的讀數(shù)，低真空的測量方式與A，B兩種一樣，左側粗真空的測量方法是讓右側測量管中的汞面升到測量管下端的“0”位線，然后再看左側比較管中的汞面所對應的讀數(shù)，即為系統(tǒng)的粗真空度。

對于使用進口電阻真空計時如何保證測量吸氣劑放氣量的精度這一問題進行了探索。首先通過對膨脹法標準裝置的改進、提高極限真空、提高靜態(tài)保持的真空度、改進取氣方法等項措施,提高了校準精度。使校準誤差控制在不大于±10%以內。同時又討論了測量時的環(huán)境溫度、氣體種類、真空計的靈敏度、熱絲的污染等因素對儀器測量精度的影響和消除方法。薄膜電阻真空計的測量范圍為1托～1000托,線性測量,測量精度優(yōu)于5%,為全壓強測量,測量值受被測氣體種類影響較小，引言利用集成電路平面工藝在硅膜片上制作四個等值電阻,組成惠斯登電橋。在數(shù)字真空計的使用過程中，影響電子真空計工作的常見問題是傳感器污染。

電阻真空計也稱皮拉尼(Pirani)真空計，它是憑借熱絲電阻的變化反映壓力的。它主要由規(guī)管和測量線路兩部分組成，其測量范圍為104～10-1 Pa。電阻真空計是應用氣體導熱性能與氣體壓強有關的原理做的真空計。利用電橋測量真空中的電阻變化來換算出真空度。電阻真空計也叫皮氏真空計（皮拉尼）采用ZJ-52電阻規(guī)管。該真空計量程較寬、漂移較小。適用于真空設備的真空測量與控制。規(guī)管殼可用金屬或玻璃制成，金屬外殼具有耐用、拆卸熱絲方便等優(yōu)點，缺點是密封性能較差，價格高；玻璃外殼具有密封性能好、價格低等優(yōu)點，缺點是易損壞。電阻真空計的優(yōu)點在于結構簡單、能連續(xù)測量、可以測量總壓強、使用方便。泰安皮拉尼真空計銷售

真空計傳感器通常可用異丙醇清洗。臨沂帶控制型真空計廠家推薦

電阻真空計（thermocouplevacuumgauge）的工作原理是：當氣體分子平均自由程大于容器的線度時，它的熱傳導系數(shù)正比于壓強。將一根金屬絲通以恒定的加熱電流時，由于氣體導走了一部分熱量，故當達到熱平衡時，金屬絲便保持一定的溫度。氣體的壓強高，導走的熱量多，平衡溫度就低。所以金屬絲的溫度是氣體壓強的函數(shù)，可以通過測量金屬絲的溫度而求得壓強的大小。熱偶真空計即是用一電阻來測量熱絲的溫度從而得到壓強值的真空計。電阻由兩種不同的金屬絲連接而成，當兩接點溫度不同時就產生熱電勢，溫差越大，熱電勢越高。電阻的一個接點與熱絲相接觸，另一接點處于室溫，這樣經過校正，即可由熱電勢的值轉換為壓強的值。它的測壓范圍為1～10-3pa。臨沂帶控制型真空計廠家推薦

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