NanoX-2000/3000
系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光
垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學輪廓儀
耐用性更強， 使用無損
可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）。PSI輪廓儀輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
因此物鏡是輪廓儀****的部件，
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。 半導體設備輪廓儀聯(lián)系電話200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。
NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)
3D測量主要技術(shù)指標（1）：
測量模式： PSI + VSI + CSI
Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）
10mm 精密電機拓展掃描
CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）
干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )
物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)
Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦
照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）
傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動調(diào)節(jié)
橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）
3D測量主要技術(shù)指標（2）：
垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s
高度測量范圍： 0.1nm – 10mm
表面反射率： > 0.5%
測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
準確度 < 1nm
RMS重復性 < 0.01nm (1σ)
臺階高重復性：0.15nm(1σ)
VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm
準確度<1%
重復性<0.1% (1σ，10um臺階高)
輪廓儀的培訓
一、 培訓承諾
系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓和技術(shù)資詢；培訓地點可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場；
系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng)；
1.1. 培訓對象
系統(tǒng)操作及管理人員（培訓對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）；
其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。
1.2. 培訓內(nèi)容
系統(tǒng)操作使用說明書。
培訓課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內(nèi)容如下：
* 系統(tǒng)文檔解讀；
* 系統(tǒng)的技術(shù)特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式；
* 系統(tǒng)一般故障排除。
輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應用測試案例
測量種類
?
基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸
?
基板A Sold Mask粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域3D 形貌
?
基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域 pad寬度
?
基板A Trace 3D形貌和尺寸
?
基板B 背面 Pad
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度 **快
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。美國輪廓儀其他高精密儀器表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通常可分為接觸時和非接觸時兩種，其中以非接觸式測量方法為主。PSI輪廓儀
我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢
世界先進水平的產(chǎn)品技術(shù)
合理的產(chǎn)品價格
24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務
無償產(chǎn)品技術(shù)培訓和應用技術(shù)支持
個性化的應用軟件服務支持
合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務
更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案
非接觸式輪廓儀（光學輪廓儀）是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。（本段來自網(wǎng)絡） PSI輪廓儀
岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，是一家磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術(shù)服務擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心，為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術(shù)服務始終關(guān)注自身，在風云變化的時代，對自身的建設毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務在行業(yè)的從容而自信。